和光超高圧UVランプは、紫外線波長領域のなかでも、特に3線(436nm、405nm、365nm)を有効に使用できるよう研究されており、長寿命で安定した放射強度をもつ高輝度光源です。また、アークサイズが極めて点光源に近いために、光学系での光の集中・拡散が容易で、均一な照度分布が得られます。

 

●特徴

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特定の波長（g線、i線、等）をピークとした輝線スペクトルを持つ

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発光体が小さく高輝度（点光源に近い）

 

●用途

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映写機

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ウェーハ露光

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ウェーハ周辺露光

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液晶露光

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プリント基板露光

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TAB露光

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ノギス目盛露光

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マスク作成機

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キュアリング

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UV接着

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蛍光顕微鏡

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ESR分光光度計

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電磁オシロ

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紡糸照明装置

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ガラス傷検査

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ウェーハ傷検査